个人申请专利费减的具体步骤如下：
1. 申请人携带个人身份证、相关证明材料以及申请专利的相关材料到当地知识产权局专利费用减缓的相关部门进行办理。如果申请人为个人的，需要提供自己的收入证明或者当地的市级以上的民政部门进行贫困证明等资质材料；如果是小微企业或者是属于低保性质的农村家庭的，要提供相关资质证明。资质证明材料应加盖相应的公章。具体材料可能因地方要求而有所不同。
2. 提交上述材料后，等待专利局进行审批，一旦审批通过，就可以享受专利费用减免的优惠政策了。专利申请已经被受理，如果未提交费用减缓请求或未获审批同意，需及时补提交相关的申请文件并缴纳专利费用。如果已经申请了减缓请求并最终获得审批同意的，提交专利申请时不用再缴纳费用，费用减缓审批通过后，审查部门会根据审批数额进行专利费用的退费处理。如果已经缴纳了专利申请费用的可以退费。
需要注意的是，不同地方或不同类型的专利申请可能有不同的费用减免政策和流程，因此申请人应根据具体情况进行相应的申请和处理。另外，具体费用减免数额和条件等详细信息建议咨询当地知识产权局工作人员获取最新、最准确的信息。
